中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所机构知识库
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专利名称: 电子束曝光方法
作者: 侯克玉1; 王逸群1; 姜春宇1; 王德稳1; 周震华1
申请受理号: 201310076889.7
专利授权号: CN103135367B
申请日期: 2013-03-11
授权日期: 2015-04-01
专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
专利类别: 发明
部门归属: 纳米加工公共平台
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3192
Appears in Collections:纳米加工公共平台_专利

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作者单位: 1.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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侯克玉,王逸群,姜春宇,等. 电子束曝光方法. CN103135367B. 2015.
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文件名: 电子束曝光方法.pdf
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