中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所机构知识库
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专利名称: 一种使用射频加热的桶式CVD 设备反应室
作者: 王劼; 张立国; 范亚明; 张泽洪
申请受理号: 201310437339.3
专利授权号: CN103540914B
申请日期: 2013-09-24
授权日期: 2016-06-15
专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
专利类别: 发明
部门归属: 纳米加工公共平台
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5022
Appears in Collections:纳米加工公共平台_专利

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王劼,张立国,范亚明,等. 一种使用射频加热的桶式CVD 设备反应室. CN103540914B. 2016.
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